气体激光器发明于1960年，而半导体激光器发明于1962年。开始时这些激光器很贵，但是随着它们变成具有经济效益时，在粒子计数器(电磁计数器)中，就用气体激光取代了白光。而到了20世纪80年代末，在绝大多数场合下，更便宜的半导体激光器又取代了气体激光器。
　　用于粒子计数的激光器有两种：一种是气体激光器，如氦氖(HeNe)激光器和氩离子(argon-ion)激光器；另外就是半导体激光器[5]。气体激光器能够生产强烈的单色光，有时甚至是偏振光。气体激光器产生准直高斯光束，而半导体激光器则产生出一个小的发散点光源，通常发散光有两个不同的轴，并且总是出现多种模式。由于发散光具有多轴性，半导体激光器通常都有一个椭圆形的输出，这带来了一定的挑战，也带来了一定的优势。不同轴的散射光意味着要么勉强接受这一椭圆形的输出，要么设计一套复杂而昂贵的光学镜来做补偿。另一方面，椭圆光束很适合用于某些应用，利用长轴，可以得到更好的覆盖范围。
　　总之，氦氖激光器的输出“直接可用”，无需增加任何光学元件。要想产生类似于氦氖激光器的光束，从半导体激光器出来的光必须经过透镜聚焦，这会导致光能的损耗。但是，半导体激光器的成本低、体积小、工作电压低、功耗小，成为粒子计数器(电磁计数器)的最佳选择。
　　在要求高灵敏度的应用中，氦氖激光器可以用于开式腔模式[6]，产生很大的功率。因为样本要通过光学空腔谐振器，当粒子浓度较高时，激光会中断(无法维持“Q”因子)，所以此时这种类型的激光不适用。

　　进入粒子计数器(电磁计数器)的入口样本对计数器的分辨率起着至关重要的作用。入口有两种类形：一种是扁平的（宽10mm，高0.1mm），另一种是内径为2-3mm的圆形。入口喷嘴为扁平的时，通常激光束是一条与喷嘴同轴的窄线。而入口喷嘴为圆形时，激光束则通常与入射口的轴线大致成直角。粒子会通过一个非常狭窄，强度很高的激光面。
　　

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